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在表面處理中,許多半導(dǎo)體材料在加工過(guò)程中都需要清洗、刻蝕以確保產(chǎn)品質(zhì)量。因此在半導(dǎo)體行業(yè)中,等離子刻蝕機(jī)工藝技術(shù),半導(dǎo)體真空等離子清洗應(yīng)用愈來(lái)愈受人們的重視。
等離子清洗是半導(dǎo)體封裝制造業(yè)中常見(jiàn)運(yùn)用化學(xué)性質(zhì)形式。這也是等離子清洗擁有比較突出的特色,能夠促進(jìn)增加晶粒與焊盤(pán)的導(dǎo)電的性能。焊料的潤(rùn)濕性、金屬線(xiàn)的點(diǎn)焊強(qiáng)度、塑料外殼包覆的安全性。在半導(dǎo)體元器件、電子光學(xué)系統(tǒng)、晶體材料等集成電路芯片運(yùn)用中都有廣泛的行業(yè)應(yīng)用。
半導(dǎo)體封裝中一般使用的是真空等離子清洗機(jī),因?yàn)樘幚淼陌雽?dǎo)體例如:晶圓、支架等產(chǎn)品對(duì)工藝環(huán)境的要求很高,所需真空反應(yīng)腔的材質(zhì)選擇也很講究。
金鉑利萊-半導(dǎo)體行業(yè)真空等離子清洗機(jī)一般選擇使用鋁反應(yīng)腔的五大優(yōu)勢(shì):
(1) 鋁合金密度低,強(qiáng)度高,超過(guò)優(yōu)質(zhì)鋼,機(jī)械加工性能比較好。
(2) 鋁具有優(yōu)良的導(dǎo)電性、導(dǎo)熱性和抗蝕性。
(3)材料對(duì)化學(xué)反應(yīng)的兼容性比較好,不易產(chǎn)生金屬污染。
(4)表面處理方面鋁合金較為豐富,包括電泳、噴涂、陽(yáng)極氧化等。
(5)趨膚深度鋁是不銹鋼的10倍以上,使得電流分布更均勻,腔體不容易發(fā)熱。
金鉑利萊注重表面處理解決方案。專(zhuān)業(yè)研發(fā)生產(chǎn)等離子清洗機(jī)、等離子活化處理機(jī)的科技企業(yè),自主研發(fā)生產(chǎn)的等離子清洗機(jī)、真空等離子清洗設(shè)備,大氣常壓等離子表面清洗機(jī)、應(yīng)用于多個(gè)行業(yè)等離子表面清洗、活化、刻蝕。
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