等離子清洗機(jī)的表面清洗技術(shù)，在很多行業(yè)都是需要的，現(xiàn)在等離子表面處理技術(shù)已經(jīng)開(kāi)始成為一種不可或缺的工藝過(guò)程。而等離子表面處理設(shè)備，業(yè)內(nèi)更常見(jiàn)的名稱為“等離子清洗機(jī)”，也開(kāi)始為人所熟知。等離子清洗區(qū)別于傳統(tǒng)清洗(如機(jī)械清洗、水洗與溶劑清洗)之處在于，傳統(tǒng)的清洗方式在清洗完成后，通常在表面仍然存在幾納米至幾十納米厚度的殘留。而隨著精密加工工藝的要求越來(lái)越嚴(yán)苛，這些殘留往往會(huì)對(duì)工藝過(guò)程與產(chǎn)品可靠性產(chǎn)生不良的影響。

材料表面的污染物的主要來(lái)源一般有兩種，通過(guò)物理化學(xué)方式吸附在表面的外來(lái)分子與表面自然氧化層：

　　材料表面的污染物

　　1). 物理吸附的外來(lái)分子一般可以通過(guò)加熱的方式使之解吸附，而化學(xué)吸附的外來(lái)分子則需要比較高能化學(xué)反應(yīng)過(guò)程才能將之解吸附脫離材料表面;

　　2). 表面自然氧化層一般生成在金屬表面，會(huì)對(duì)金屬的可焊性以及與其它材料的結(jié)合性能產(chǎn)生影響。

　　等離子表面處理

　　等離子表面處理技術(shù)可以有效處理以上兩種類型的表面污染物，而處理過(guò)程首要需要選擇合適的處理氣體。在等離子表面處理過(guò)程中，最常用的工藝氣體為氧氣與氬氣。

　　1). 氧氣在等離子環(huán)境中可以電離產(chǎn)生大量含氧的極性基團(tuán)，可以有效去除材料表面的有機(jī)污染物，并將極性基團(tuán)吸附在材料表面，有效提升材料的結(jié)合性 – 微電子封裝工藝中，塑封前的等離子處理是此類處理的典型應(yīng)用。經(jīng)過(guò)等離子處理的表面具有更高的表面能，可以有效與塑封料結(jié)合，減少塑封工藝中分成、針孔等現(xiàn)象的產(chǎn)生。

　　2). 氬氣在等離子環(huán)境中可以生成氬離子，并利用材料表面生成的自偏壓對(duì)材料進(jìn)行濺射，消除表面吸附的外來(lái)分子并可以有效去除表面金屬氧化物 – 在微電子過(guò)程中，打線前的等離子處理為此種工藝的典型代表。經(jīng)過(guò)等離子處理的焊盤(pán)表面由于去除了外來(lái)污染物與金屬氧化層，可以提升后續(xù)打線工藝的良率與焊線的推拉力性能。

　　在等離子工藝過(guò)程中，除工藝氣體的選擇，等離子電源、電極結(jié)構(gòu)、反應(yīng)壓力等多種因素均會(huì)對(duì)處理效果產(chǎn)生不同的影響。 在之后的介紹中，我們將結(jié)合實(shí)例向大家介紹等離子在各個(gè)行業(yè)中的應(yīng)用實(shí)例。本文由金鉑利萊小編整理，歡迎大家聯(lián)系小編分享其他等離子機(jī)表面清洗機(jī)技術(shù)和訂購(gòu)優(yōu)惠活動(dòng)了解哦。