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目前來說基本上半導(dǎo)體材料電子器件在生產(chǎn)過程中都有一個(gè)清潔的步驟,目的就是清除那些電子器件表面的細(xì)顆粒物、高分子材料、無機(jī)化合物等污染物,以此來保證產(chǎn)品的質(zhì)量。
隨著等離子清洗技術(shù)的成熟,半導(dǎo)體清洗中運(yùn)用等離子清洗機(jī)的頻率也越來越高,因?yàn)榈入x子清洗機(jī)是干式清洗法,可以增強(qiáng)晶體與焊層的導(dǎo)電性的特性,提高焊接材料的潤滑性、金屬的點(diǎn)焊抗壓強(qiáng)度等等。
等離子清洗機(jī)在半導(dǎo)體上的運(yùn)用,在IC芯片制造領(lǐng)域中,等離子體處理設(shè)備已是一種不可替代的成熟工藝,不論在芯片源離子的注入,還是晶元的鍍膜,亦或是低溫等離子體表面處理設(shè)備所能達(dá)到的:在晶元表面去除氧化膜、有機(jī)物、去掩膜等超凈化處理及表面活化提高晶元表面浸潤性。
等離子清洗機(jī)又叫等離子體清洗機(jī)(英文名:Plasma Cleaner)它的作用如下:
1.等離子表面活化/清洗 5.等離子涂鍍(親水,疏水)
2.等離子處理后粘合 6.增強(qiáng)邦定性
3.等離子蝕刻/活化 7 .等離子涂覆
4.等離子去膠 8.等離子灰化和表面改性等場合
等離子清洗機(jī)目前廣泛運(yùn)用于汽車、手機(jī)制造、微電子、醫(yī)療生物、航天航空、高分子材料等等行業(yè)中,更多資訊請(qǐng)聯(lián)系在線客服為您講解并持續(xù)關(guān)注【金鉑利萊】:4fcom.cn
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