電漿清洗機(jī)在工作中是采用非聚合性氣體作為介質(zhì)對固體材料表面作用，作用于固體表面發(fā)生的物理和化學(xué)過程。選用的氣體種類的不同對不同材料的表面作用的機(jī)理也不相同，所以當(dāng)我們處理的產(chǎn)品不同、工藝不同，也將會(huì)采用特定的氣體進(jìn)行反應(yīng)。 

1、電漿清洗機(jī)選用反應(yīng)性氣體的作用機(jī)理

 　　常見的反應(yīng)性氣體是O2、N2，材料在反應(yīng)性氣體的電漿作用下，表面微觀結(jié)構(gòu)發(fā)生變化;而且由于O2，N2的化學(xué)活性，可直接結(jié)合到大分子鏈上，從而改變了高分子材料表面的化學(xué)組分，如高分子材料在含氧等離子體基團(tuán)作用下發(fā)生氧化反應(yīng)。 

2、電漿清洗機(jī)選用非反應(yīng)性氣體的作用機(jī)理

 　　非反應(yīng)性氣體工藝氣體如Ar，He，H2等，這些氣體原子是不直接進(jìn)入到材料表面的大分子鏈中，但這些非氣體離子中的高能粒子能對材料表面的轟擊，進(jìn)行能量傳遞，產(chǎn)生大量的自由基，借助于這些自由基在材料表面形成雙鍵和交聯(lián)的結(jié)構(gòu)，所以非反應(yīng)性氣體等離子體在材料表面形成薄薄的致密的交聯(lián)層，不僅改變了材料表面的自由能，而且還可以減少高分子內(nèi)部低分子物質(zhì)(增塑劑、抗氧劑等)的滲出。

 　　電漿清洗機(jī)的工藝機(jī)理，就是是依靠電漿（等離子體）中活性粒子的“活化作用”達(dá)到去除物體表面污漬的目的。就反應(yīng)機(jī)理來看，等離子體清洗通常包括以下過程：無機(jī)氣體被激發(fā)為等離子態(tài)；氣相物質(zhì)被吸附在固體表面；被吸附基團(tuán)與固體表面分子反應(yīng)生成產(chǎn)物分子；產(chǎn)物分子解析形成氣相；反應(yīng)殘余物脫離表面。

主要用于以下應(yīng)用：
1、表面清潔

2、表面活化

3、鍵合
4、去膠
5、金屬還原
6、表面刻蝕
7、去除表面有機(jī)物
8、疏水實(shí)驗(yàn)
9、鍍膜前處理等

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