一、什么是等離子？等離子體是怎么形成的？

    等離子并非很神秘，等離子體是不同于固體、液體和氣體的物質(zhì)第四態(tài)。物質(zhì)由分子構(gòu)成，分子由原子構(gòu)成，原子由帶正電的原子核和圍繞它的、帶負電的電子構(gòu)成。當被加熱到足夠高的溫度或其他原因，外層電子擺脫原子核的束縛成為自由電子，就像下課后的學(xué)生跑到操場上隨意玩耍一樣。電子離開原子核，這個過程就叫做“電離”。這時，物質(zhì)就變成了由帶正電的原子核和帶負電的電子組成的、一團均勻的“漿糊”，因此人們戲稱它為離子漿，這些離子漿中正負電荷總量相等，因此它是近似電中性的，所以就叫等離子體。

二、等離子去膠機（清洗機）清洗活化晶圓芯片的工作原理：

    在使用等離子去膠機（等離子清洗機）中，我們都知道，去膠氣體為氧氣。把需要清洗的晶片放入真空等離子去膠機反應(yīng)系統(tǒng)中，受高頻及微波能量效果，電離發(fā)生氧離子、游離態(tài)氧原子、氧分子和電子等混合的等離子體形成輝光柱。具有強氧化才能的游離態(tài)氧原子在高頻電壓效果下與光刻膠膜反應(yīng)，最終完成。

真空等離子去膠機的使用優(yōu)勢在于它使用操作相對簡單，去膠率更高，表面也比較干凈光潔無劃痕，成本低，環(huán)保。