等離子清洗機(jī)技術(shù)特點(diǎn):
1. 艙體、管路、閥體全部為不銹鋼材料,耐用、防腐容易清潔。
2. 儀器實(shí)現(xiàn)了手動(dòng),自動(dòng)兩種模式任意切換的工作方式,方便用戶實(shí)驗(yàn)
3. 儀器實(shí)現(xiàn)了程序化設(shè)計(jì),預(yù)先編輯好程序,儀器可以自動(dòng)完成實(shí)驗(yàn)
4. 無(wú)需任何耗材使用成本低,無(wú)需特殊進(jìn)行維護(hù),日常使用保持儀器清潔即可
5. 電容式等離子激發(fā),處理效果均勻,激發(fā)電極板內(nèi)置樣品倉(cāng)內(nèi)頂部懸掛
6. 密閉真空環(huán)境下完成實(shí)驗(yàn)避免二次污染
7. 40Khz射頻電源,自主研發(fā)質(zhì)量穩(wěn)定可靠,具有自動(dòng)保護(hù)功能。
8. 靈活的參數(shù)設(shè)置和修改功能,可適應(yīng)多種處理工藝。
9. 采用皮拉尼真空技術(shù),實(shí)時(shí)檢測(cè)和顯示樣品倉(cāng)的真實(shí)真空度,具有1Pa的真空分辨率,能夠方便的接入MFC氣體流量控制儀,實(shí)現(xiàn)對(duì)氣體流量和真空度的精準(zhǔn)控制和監(jiān)測(cè)。
10. LED+金屬按鍵控制方式,操作方便穩(wěn)定可靠。
科研用等離子蝕刻機(jī)主要用于以下實(shí)驗(yàn):
1、材料清潔和活化
2、等離子涂鍍聚合
3、有機(jī)物去除
4、鍵合
5、等離子去膠
6、金屬還原
7、表面刻蝕
8、材料老化實(shí)驗(yàn)
9、改變親水性/疏水性
10、灰化表面有機(jī)層